偏心ローターとベーン構造を採用しております。
ローターの回転に伴い、遠心力でベーンがポンプ室内壁へ押し付けられ、吸気・圧縮・排気の一連工程を循環して実行します。
油膜がシール、潤滑、冷却の三機能を同時に担います。
内蔵式オイルミストセパレーターとオイル逆流防止弁を搭載。ポンプ停止時のオイル逆流を抑え、クリーンな排気を実現します。
長期間実証済みの回転翼技術を活用し、高出力かつ高耐久を実現。
現在世界各国において、毎日 10 万台以上の当該真空ポンプが稼働し続けています。
真空ポンプ 交換部品